燒結(jié)真空爐主要用于半導(dǎo)體元件和電力整流器件的燒結(jié)過程，可用于真空燒結(jié)、氣體保護燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中的一種新型工藝設(shè)備。

　　它的設(shè)計構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，可以在一臺設(shè)備上完成多個工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝。下面，小編將介紹真空燒結(jié)爐的應(yīng)急措施。

　　真空燒結(jié)爐冷卻水異常。

　　1.確認加熱電源已停止。

　　2.如果爐外漏水，冷卻水量異常，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施。如果能保證水量，請繼續(xù)保持真空。如果不能采取應(yīng)急措施，保持原狀，確認設(shè)備冷卻。

　　3.冷卻水異常時，設(shè)備停止，立即連接緊急冷卻水。

　　4.在高溫下(超過200℃視為高溫)，如果冷卻水停止，如果不能緊急送水，可能會損壞水冷電極、換熱器、真空室外殼和泵。

　　停電

　　1.停電時，若斷水，應(yīng)立即連接備用冷卻水，連接水源。

　　2.如果在非加熱、加熱、冷卻時能盡快恢復(fù)，重新啟動設(shè)備，如需長時間繼續(xù)運行，則將設(shè)備保持原狀。

　　3.如果在加熱和冷卻時能盡快恢復(fù)，則重新啟動設(shè)備。如果需要很長時間，保持原狀，使設(shè)備自然冷卻。

　　加熱電源斷電。

　　1.當(dāng)水壓低于0.15MPa時，壓力表報警。

　　2.接地故障。

　　3.真空放電，水冷電極接頭要與加熱器連接牢固，與反射屏絕緣良好。

　　4.如果爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa(這種真空度容易放電)。電源故障和斷電的原因可以認為是電介質(zhì)擊穿引起的放電。