燒結真空爐克服了硅煙氣體在高溫真空狀態下容易與碳纖維發生反應，碳纖維制成的保溫套管失去保溫效果的問題，其包括圓柱形爐體，爐體由外向內設有爐套和隔熱套，爐體與爐套之間有隔熱層。

　　在保溫套管的內周面設有石墨套管，使保溫套管不直接面對硅粉氣體，燒結材料支撐架與石墨套筒固定連接，防止燒結材料支撐架穿過隔板，本實用新型有效地保護了保溫套，防止其失去保溫效果。

　　作為改進，石墨套管、燒結材料支撐架和電加熱體的表面分別涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼層，石墨套管的作用是為燒結材料支撐架提供支撐，并將硅氣與隔熱套管隔離，但是，在高溫真空條件下，硅和石墨也會發生反應，氮化硼層是為了進一步阻止硅氣與石墨套筒的反應。

　　燒結材料支撐架和電加熱體可以提高部件的使用壽命，作為進一步的改進，在爐體外部設置了一個可以提供循環冷卻介質的空氣泵，該空氣泵與隔熱材料連通。